一、工具顯微鏡概述：

    工具顯微鏡屬于顯微鏡的一種,具有顯微鏡的放大的性質(zhì),都有目鏡、物鏡這樣的成像裝置。與普通顯微鏡不同的是，工具顯微鏡是主要用來測量計(jì)量方面的一類顯微鏡，其移動(dòng)工作臺(tái)精度很高，能準(zhǔn)確地測量產(chǎn)品的尺寸。

二、工具顯微鏡應(yīng)用范圍：

1、測量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角；
2、測量電路板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢?，鍵槽的對(duì)稱度等形位誤差；
3、測量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；
4、測量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角；　　
5、坐標(biāo)測量；
6、角度測量；
7、孔徑測量；
8、高度測量。

三、工具顯微鏡的升級(jí)換代

   工具顯微鏡是應(yīng)用計(jì)算機(jī)輔助測量的新一代工具顯微鏡，能解決各種復(fù)雜的二維測量問題。工具顯微鏡可以測量零件的長度、角度、螺紋等諸多幾何量參數(shù)，是長度計(jì)量檢測中使用最多的一種測試儀器，因此廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工業(yè)的各類企業(yè)。但隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展以及科技的進(jìn)步，傳統(tǒng)的老式萬工顯已難以滿足要求，因此很有必要對(duì)其進(jìn)行技術(shù)改造。

1、數(shù)顯系統(tǒng)的改型
2、數(shù)顯系統(tǒng)的安裝
3、數(shù)顯系統(tǒng)的調(diào)試
4、數(shù)顯系統(tǒng)的檢測

四、工具顯微鏡的檢測規(guī)程

   根據(jù)工具顯微鏡檢測規(guī)程中的相關(guān)規(guī)定，需要檢測讀數(shù)裝置的示值誤差、讀數(shù)裝置的回程誤差和示值誤差。

1、讀數(shù)裝置的示值誤差檢測
    對(duì)數(shù)顯系統(tǒng)來說，讀數(shù)裝置的示值誤差就是數(shù)顯表的最小分辨率，即±0.5μm，無須檢測。

2、讀數(shù)裝置的示值誤差的檢測(相當(dāng)于磁柵尺的重復(fù)性)
    光柵尺讀數(shù)裝置就其構(gòu)造和原理來說是沒有回程誤差的，當(dāng)然這需要很高的工藝水平做保證通過用0.1μm的電感測微儀反復(fù)測試，光柵尺讀數(shù)裝置的回程誤差最大不超過0.5μm

3、示值誤差的檢測(相當(dāng)于磁柵尺的準(zhǔn)確性)
    用檢測極限誤差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作為標(biāo)準(zhǔn)，按照規(guī)程規(guī)定的條件方法對(duì)縱、橫向分別進(jìn)行檢測;若沒有玻璃刻度尺，可用工具顯微鏡原有的刻度尺與光柵尺進(jìn)行比較檢測，并用儀器原有的示值誤差進(jìn)行修正，以確定光柵尺各被檢點(diǎn)的實(shí)際誤差，若有超差再用線性補(bǔ)償系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)償。